VLS – Vapor-Liquid-Solid, metoda pěstování monokrystalických nanovláken. Na substrátu monokrystalického křemíku se roztaví například zlatý terčík, který vytvoří taveninu směsi zlata s křemíkem v rozměrech požadovaného vlákna. Další nárůst vlákna probíhá v atmosféře ochranného plynu, nejčastěji vodíku spolu s parami sloučeniny křemíku (hydridu či chloridu křemičitého). Příměsí jiných par v požadované koncentraci (například hydridu boritého či fosforečného) lze pěstovat příměsné polovodiče. Změnou teploty a/nebo tlaku lze dosáhnout ukončení růstu monokrystalu, přičemž z plynné fáze se mohou na monokrystalu začít vytvářet koaxiální polykrystalické vrstvy.

Zpět  Glosář

---